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碳化硅輥棒與溫度的關系

點擊次數:   更新時間:23/06/19 14:49:06     來源:m.chinazayh.com關閉分    享:
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  特別是在爐膛溫度超過1600℃以后,氧化速度加快,碳化硅輥棒的使用壽命變短,所以請盡量不要讓硅碳棒表面溫度過高,即有必要縮小爐膛溫度與硅碳棒溫度之差。表面負荷密度指棒的發熱部單位表面積所允許承載的額定功率。表面負荷密度=額定功率(W)/ 發熱部表面積(cm2)。負荷密度大則發熱體表面溫度與爐膛溫度之差也大。負荷密度大則棒體表面溫度高,電阻增長快, SIC棒的壽命短。因此,碳化硅板表面溫度負荷密度、爐內氣氛、溫度與SIC棒老化速度成正比,與SIC棒的壽命成反比。


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